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对于拉晶炉,首先……要对副室进行充气,这里冲的是氩气,氩气是惰性气体,很难参加反应。
拍出副室里边的空气,然后对于其他的地方清理干净,比如副室炉筒、小副室、炉筒等等。
工人穿戴好防护服把坩埚装入石墨锅里边,进行装料,也就是多晶硅,进行封闭之后,进行抽空作业,随后冲氩气,这样反复几次,带走炉内的其他气体以及湿度。
缓慢加热,使得多晶硅均匀受热,使得多晶硅完全融化掉之后石英锅开始旋转起来,这时候子晶从商面降落下来,和锅的最中心液面相接触,在接触的一刹那子晶也开始反方向旋转起来。
在锅的下边是加热状态的,而在锅液面是加冷状态,这时候子晶和液面的接触点就会出现一个小小的光点。
随着子晶的慢慢旋转,并且不断上拉,再经过一系列的操作:放肩、转肩、正常拉棒、收尾等等。
经过了差不多五个小时的时间,终于形成了单晶棒!
一般的拉晶炉都是一天半,也就是36小时才可以形成一根单晶棒,而被小芳改造过的拉晶炉仅仅用了五个小时。
时间仅仅为以前的六分之一还多!
也就是说以前的机器制作成一根单晶棒的时间,现在可以制作成六根单晶棒,效率整整提升了六倍!
多么的不可思议啊!
在制作出来单晶棒之后,包括厂长韩仁在内的现场人员,除了王昊天之外都是一脸的惊讶!
“果然……”韩仁赞叹:“果然是450mm的晶圆片,而且仅仅用来五个小时,这速度简直是太快了,如果质量达到的话,那么这台机器的价值简直……”
韩仁都不知道用什么词来形容了,按照他的经验来估算,这台拉晶炉如果合格率达到要求的话,那么最少也是十亿!
里边蕴含的知识技术已经远远超过了现阶段炎黄星球的水平了!
而且有钱……你就能买到吗?
这种机器已经不是可以用钱可以衡量的了,它是无价的,给再多钱都不会卖的,除非拿出等价的东西来!
单晶棒已经制作好了,随后把这根单晶棒切割成一片片单晶片,这些单晶片仅仅只有一毫米的厚度。
随后对这些单晶片进行一系列的打磨、抛光、腐蚀、清洗等工序,最后就形成了可以当做镜子一般的硅晶圆片了!
这可是制作芯片的衬底材料!
智慧殿堂公司生产的单晶棒最后切割成了六百四十片晶圆片!
这是一个很不错的成绩,就看最后的成品率了,一般一个单位的单晶棒也就能切割成六百四十左右的晶圆片,不过最后排除一些次品,那么达到要求的大约也就五百个!
工作人员用小推车运输着着六百四十个晶圆片,运送到实验室里边,对其进行检查,而拉晶炉还在继续工作。
机器一开始了,就不用停止了,她的效率可是普通的拉晶炉的是六倍!
厂长韩仁紧随其后,他已经亲眼看见拉晶炉生产的整个过程了,剩下的就是要验证合格率了。
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